主流校正體系分為三條技術路線。第一是經驗系數法，通過CQ、DJ、RH、LP、PH五大數學模型，以大量標準樣品回歸出元素間的吸收-增強校正系數。其中CQ模式以濃度為基礎，適合增強效應主導的試樣；DJ模式以吸收效應為主，擬合更穩健；RH模式兼顧兩者，適用面廣。該法精度高但依賴標樣數量，移植性差。第二是基本參數法（FP法），由Criss等于1968年提出，以初級X射線光譜分布、質量衰減系數、熒光產額、吸收陡變比等物理參數構建理論方程，通過迭代逼近使理論強度與實測強度一致。優勢在于無需大量標樣，但對輕元素（Mg、Al、Si、P、S）的校正仍存局限。第三是內標法與散射標準法，以內標線或散射X射線為參照，有效補償基體吸收與儀器漂移，但需嚴格匹配內標元素的激發-吸收特性。

　　當前行業優解是FP法與經驗系數法的融合，疊加智能算法自動補償。奧林巴斯Axon技術、日立自動漂移校正算法均屬此類，可在無標準片條件下連續工作數十天，輕元素定量精度提升至±0.05%級別。配合SDD探測器（分辨率約145eV）的高分辨峰識別能力，有效分離重疊峰與干擾峰，最終實現Mg至U全譜段、ppm級檢出限的可靠定量。